·±3V或更好的离子平衡(配合选配的外接回馈系统能达至±1V)
·符合ISO 14644 Class 4(Fed std 209e Class 10)洁净标准
·选配外接感应器,设备监控接口,报警和控制管理
·选配的气流定向器
·选配的自动清洁系统